紫外线通过镂空掩体后经过凸透镜成一个倒立(选填“缩小”或“放大”)的实像,但我国现有技术还不能完成5nm光刻机的制造,想让我国制造的光刻机成像更小应该使镂空掩模(选填“远离”或“靠近”)凸透镜,或者更换焦距更(选填“小”或“大”)的透镜。
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