我国芯片发展近年突飞猛进，其中高纯可用于半导体领域某些芯片的刻蚀。利用甲酸制取高纯的化学反应方程式为，若制得，计算参加反应的甲酸的质量（写出计算过程及结果）。

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1. (2024九上·麦积月考) 我国芯片发展近年突飞猛进，其中高纯 $\text{[math]}$ 可用于半导体领域某些芯片的刻蚀。利用甲酸 $\text{[math]}$ 制取高纯 $\text{[math]}$ 的化学反应方程式为 $\text{[math]}$ ，若制得 $\text{[math]}$ ，计算参加反应的甲酸的质量（写出计算过程及结果）。

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